| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
超靈敏，納米級(jí)電容位移傳感器！
原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個(gè)參數(shù)發(fā)生變化的方法實(shí)現(xiàn)信號(hào)的變化的。電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí)，電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。
納米級(jí)電容位移傳感器是非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí)，電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有高靈敏度分辨率可由于0.1nm，頻帶寬可達(dá)到10KHz，直線性可到達(dá)0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測(cè)量系統(tǒng)，因此還擁有無(wú)摩擦，無(wú)遲滯等特點(diǎn)。
電容位移傳感器因具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、精度高、動(dòng)態(tài)性能好、頻帶寬、高穩(wěn)定性和非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電容位移傳感器主要包括以下幾款產(chǎn)品：
① AU-NX系列電容位移傳感器是基于電容測(cè)微原理的非接觸式的位移測(cè)量系統(tǒng)。該電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。利用合適的控制器可測(cè)量?jī)蓚€(gè)電容板之間的距離，在1.25mm的行程中，分辨率可高達(dá)7pm。此外該位移傳感器具有很高的頻帶寬，可達(dá)到10KHz，線性度可達(dá)到0.02%。由于該電容位移傳感器為非接觸式精密測(cè)量系統(tǒng)，因此具有零遲滯、低功耗等優(yōu)點(diǎn)。此外該系列的位移傳感器可有鋁合金和不脹鋼兩種材質(zhì)。
②AU-NZ系列位移傳感器的工作原理與AU-NZ系列的相同。它們的主要區(qū)別在工藝和材質(zhì)上不同。AU-NZ電容位移傳感器采用微晶陶瓷和張脹鋼材質(zhì)，并且沒(méi)有粘合劑。這使其擁有熱穩(wěn)定性，適合低溫使用。
③大量程電容位移傳感器，主要包括AU-NCG-1-AL-UHV，該高分辨率位移傳感器為嚴(yán)苛環(huán)境條件下設(shè)計(jì)，工作溫度范圍可以從-200℃到+150℃。采用鍍金陶瓷電容板，行程可達(dá)到11000微米，且分辨率可達(dá)到0.12微米。在極大的行程中仍然可以保持較好測(cè)直線性，線性度可達(dá)到0.4%。
主要特點(diǎn)
大行程（11mm）
高分辨率（0.1nm）
高熱穩(wěn)定性
高直線性（0.02%）
零遲滯
高頻帶寬度（10KHz）
低功耗
操作溫度范圍大（-200~+150℃）
主要應(yīng)用
精密制造、計(jì)量、形變測(cè)量、平臺(tái)控制、材料測(cè)試、顯微鏡、能動(dòng)光學(xué)、精密光束控制等。
主要參數(shù)
型號(hào) 參數(shù) | AU-NX | AU-NZ | ||||||
AU-NXB | AU-NXC | AU-NXD | AU-NZB | AU-NZC | AU-NZD | |||
Active area（mm2） | 22.5 | 113 | 282 | 22.5 | 113 | 282 | ||
Material | Aluminium / Super Invar | Zerodur / Super Inva | ||||||
Thermal drift (nmK-1) | Aluminium 230 Super Invar 3 | 1.5 | ||||||
Short range-S(10pF) | Range | 20mm | 100mm | 250mm | 20mm | 100mm | 250mm | |
Noise | <0.001 | <0.005 | <0.013 | <0.001 | <0.005 | <0.013 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.05 | <0.06 | <0.08 | <0.05 | <0.06 | ||
Long range –L (2pF) | Range(mm) | 100 | 500 | 1250 | 100 | 500 | 1250 | |
Noise | <0.015 | <0.075 | <0.188 | <0.015 | <0.075 | <0.188 | ||
Linearity error(%) | <0.08 | <0.03 | <0.06 | <0.08 | <0.03 | <0.06 | ||
Operating temperature | Controller | +10 to +50 ℃ | +10 to +50 ℃ | |||||
Sensor | -273 to +100 ℃ | -273 to +100 ℃ | ||||||
型號(hào) 參數(shù) | AU-NCG-1-AL- UHV | |||||||
Materials | Aluminium housing with gold plated alumina (ceramic) sensors | |||||||
Sensor range | 11mm | |||||||
Position noise (rms) | 120nm | |||||||
Uncompensated linearity | 0.4% | |||||||
Probe area | 2500mm2 | |||||||
Operating temperature | -200 to +150 ℃ | |||||||
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