精密定位系統(tǒng)/平移臺_第(4)頁-上海昊量光電設(shè)備有限公司

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精密定位系統(tǒng)/平移臺

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納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺，是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-1500mm行程）

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高精度壓電馬達(dá)角位移臺（偏擺臺）
角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等，是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺，它提供的不是線性運(yùn)動而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。高精度壓電馬達(dá)角位移臺（偏擺臺）

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高精度微型六足平移臺
昊量光電設(shè)備有限公司推出的六足位移平臺是基于線性平臺模組開發(fā)的六維運(yùn)動控制系統(tǒng)。該平臺可提供六個自由度控制（XYZ和繞三個軸的旋轉(zhuǎn)）。與常規(guī)的六足平臺相比該平臺，該平臺體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運(yùn)動質(zhì)量，并且客戶可以自定義虛擬運(yùn)動軸點(diǎn)。高精度微型六足平移臺

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超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）
AU-M3-LS系列位移平臺，是一款集動力系統(tǒng)、位置傳感器和控制器于一身的微型位移平臺。其中動力系統(tǒng)采用目前很小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線微電機(jī)（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內(nèi)很小的壓電馬達(dá)NSD-2101驅(qū)動IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運(yùn)動性能。超小型平移臺（亞微米，15mm，已集成電路）

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大行程二維電控載物臺
上海昊量光電推出大行程二維電控載物臺是一款體積緊湊的大行程位移平臺。該平移臺采用精密的交叉滾子軸承和主軸，并進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)使平移臺擁有良好的線性度和平整度。且在提供大行程的同時分辨率可達(dá)到亞微米，并且該平臺擁有優(yōu)異的可重復(fù)性。

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可定制氣體軸承線性位移臺
LT系列位移平臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承，該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比，采用氣體為潤滑劑，因此所有運(yùn)動都是無接觸的，因此在整個使用壽命之內(nèi)，設(shè)備的性能保持不變，并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)?？啥ㄖ茪怏w軸承線性位移臺

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單光子探測模塊SPCM。
單光子探測模塊SPCM。 Excelitas提供的單光子探測模塊SPCMs）是滿足共聚焦顯微，熒光，發(fā)冷光和TCSPC的弱光探測需求的獨(dú)立模塊。Excelitas的單光子探測模塊SPCM提供市場上的光子計(jì)數(shù)性能，例如高探測效率，低后脈沖，高均一性，高線性動態(tài)范圍和低暗計(jì)數(shù)。增強(qiáng)型SPCM-AQRH在400-1060nm波段擁有的動態(tài)范圍和單光子探測能力。利用一個*的硅雪崩光電二極管

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大角度閉環(huán)微型振鏡
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的微型振鏡是一款體積緊湊的大鏡面微型振鏡。大角度閉環(huán)微型振鏡促動器技術(shù)成熟的電磁驅(qū)動。單個鏡面可提供二維光束偏轉(zhuǎn)，鏡面尺寸可達(dá)到15mm，該設(shè)備不僅可以提供較大的鏡面尺寸，光學(xué)偏轉(zhuǎn)角度更是可達(dá)到±50°該系統(tǒng)包含一個位置反饋系統(tǒng)，設(shè)備的整體分辨率可達(dá)到5mrad。

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Minus K 桌面型隔震平臺
Minus K 桌面型隔震平臺 Minus K“負(fù)剛度”技術(shù)提供了一種簡單、可靠、高效的振動隔離解決方案，適用于對低頻振動較為靈敏的儀器，例如建筑物和樓層振動、光學(xué)平臺晃動帶來的低頻振動，使用Minus K隔震平臺，可使其降至傳統(tǒng)隔離設(shè)備如氣墊隔振所未能達(dá)到的水平

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納米精度電動升降臺
電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置，納米精度電動升降臺通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

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微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的二維平移臺主要是為在計(jì)量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。推出的二維平移臺主要分為以下兩種。1）. 緊湊型二維壓電馬達(dá)平移臺AUXY-XLS 2）.大推力二維壓電平移臺AUXY-XSS 微型二維壓電馬達(dá)線性平移臺

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壓電旋轉(zhuǎn)平臺
AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的旋轉(zhuǎn)平臺。該系列旋轉(zhuǎn)臺采用軸承技術(shù)，使壓電旋轉(zhuǎn)平臺的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差都非常的小。這使的該系列旋轉(zhuǎn)臺成為市面上Z精確地產(chǎn)品。該系列平移臺由滑塊驅(qū)動和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動方式，可進(jìn)行連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對角度無限制，并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，使壓電旋轉(zhuǎn)臺擁有*的分辨率和可重復(fù)性。

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